新儀 MASTER-18 微波消解儀、趕酸器、分析天平(十萬分之一)等

硝酸(68%)，氫氟酸（40%）

精確稱取半導體薄膜材料50 mg（精確至0.1 mg），緩慢滴加8 mL 硝酸（劇烈反應，釋放氣體），靜置10 min 左右，待無明顯反應后，補加2 mL 氫氟酸，組裝消解罐，按照如下設置參數進行實驗：

實驗結束后，待冷卻至60℃以下，取出消解罐轉移至通風櫥中緩慢打開，趕酸稀釋后，樣品可完全消解至澄清透明狀態。

實驗選取的半導體薄膜材料樣品，取樣為50 mg，加入硝酸靜置后，補加氫氟酸，最高實驗溫度210 ℃，保溫40 min 左右，樣品可完全消解。

1、添加氫氟酸進行實驗后，需進行趕酸處理，防止氫氟酸對玻璃器皿造成腐蝕，也可能會對實驗結果造成影響。

2、添加硝酸后樣品反應劇烈，實驗過程中應緩慢加入或者分多次加入硝酸，同時實驗人員需做好防護。